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南砂晶圆采用扩径生长制备了 8 英寸 4H-SiC 衬底,实现了近“零 TSD”和低 BPD 密度的 8 英寸衬底,可以满足生产需要。广东天域国产 8 英寸外延设备和开发的工艺包,实现了速率为 68.66μm/h 的快速外延生长,厚度不均匀性为 0.89%,掺杂不均匀性为 2.05%,这两个指标已经达到了 6 英寸外延膜的优良水平,完全可以满足生产需要。
2024年7月31日,山东省委书记林武莅临南砂晶圆全资子公司中晶芯源,视察公司8英寸碳化硅北方基地项目。省委常委、济南市委书记刘强,省委常委、秘书长范波,省工信厅副厅长安文建,济南市工信局党组书记、局长魏斌,历城区委书记张军等省市区领导参加活动。
2024年7月31日,山东省委书记林武莅临南砂晶圆全资子公司中晶芯源,调研公司8英寸碳化硅北方基地项目。省委常委、济南市委书记刘强、省委常委、秘书长范波、省工信厅副厅长安文建、济南市工信局党组书记、局长魏斌、历城区委书记张军、历城区委常委、区委办主任胡志强、历城区委常委、区政府副区长文海生等省市区领导参加活动。南砂晶圆技术团队负责人、山东大学新一代半导体材料研究院院长、山东大学晶体材料国家重点实验室主任徐现刚教授带队迎接。
6月22日,在2024济南新一代半导体晶体技术及应用大会暨南砂晶圆北方基地--中晶芯源8英寸碳化硅项目投产开幕仪式上,广州南砂晶圆半导体技术有限公司全资子公司山东中晶芯源半导体科技有限公司盛大开业,南砂晶圆8英寸碳化硅北方基地项目宣布正式投产。
6月22日-23日,广州南砂晶圆半导体技术有限公司全资子公司山东中晶芯源半导体科技有限公司联合山东大学新一代半导体材料研究院、山东大学晶体材料国家重点实验室、济南市历城区人民政府、山东华光光电子股份有限公司、极智半导体产业网、第三代半导体产业等七家单位,在济南成功主办2024新一代半导体晶体技术及应用大会暨南砂晶圆北方基地--中晶芯源8英寸碳化硅项目投产启动仪式。